Etude expérimentale de l’émission X des matériaux isolants bombardés par un faisceau d’électrons

B. Askri1 , K. Raouadi1*, R. Renoud2, Z. Fakhfakh3, B.Yangui1

1Laboratoire des Matériaux, Organisation et Propriétés, Faculté des Sciences de Tunis,Tunisie

2Laboratoire de Physique des Isolants et d’Optronique (E.A. 3254), Faculté des Sciences et des Techniques de Nantes, France

3Laboratoire de Microscopie Electronique, Faculté des Sciences de Sfax,Tunisie

* Corresponding author. E-mail : Khaled.Raouadi@fst.rnu.tn

Received : 30 April 2002; revised version accepted : 20 October 2002

Abstract

The presence of charge perturbs the microanalysis on insulator samples. Attempt to supress these effects have been fruitless and a better understanding of the charge phenomen is the only way to a clear interpretation of the result of a microanalysis-X .

The microanalysis X-ray method is investigated to analyse the X-ray emission emanating from charged SiO2 sample which are uncoated and then coated by a thin metallic layer.

Our studies underline the important effects of the exposure time and the incident beam energy on the X-ray spectrum evolution. Relations between physical phenomena intervening during charging (desorption, charge saturation) and experimentally measured X-rays are established.

Keywords : Charged dielectric ; X-ray emission.

Résumé

La caractérisation des cibles isolantes par microscopie électronique est rendue difficile du fait des effets de charge (forte perturbation électrostatique du système). Les solutions mises en œuvre pour supprimer ces effets ne sont pas efficaces et seule une bonne compréhension du phénomène de charge peut permettre d’interpréter correctement les résultats d’une microanalyse.

Nous analysons les spectres X obtenus expérimentalement respectivement de cibles isolantes (SiO2 amorphe) métallisées et non métallisées chargées par une sonde électronique d’énergie s’étalant de 10 à 20 kV. Les résultats obtenus dégagent l’effet important du temps d’irradiation et de l’énergie incidente sur l’évolution des spectres. Les intensités des raies caractéristiques Si ka et Oka nous renseignent sur les phénomènes physiques intervenant au cours de la charge tel que la saturation de la cible et la désorption de l’oxygène sous le faisceau.

Mots clés : Diélectrique chargé ; Emission X.

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